Керамические подложки (Si3N4) нитрид кремния

Основные свойства

  • Высокая прочность в широком диапазоне температур
  • Высокая твердость
  • Низкий коэффициент трения
  • Превосходная износостойкость
  • Хорошая термостойкость
  • Высокая рабочая температура
  • Хорошая химическая стойкость

Наименование параметра

Единица измерения

Значение

Объемная плотность

g/cm3

3.2-3.3

Твердость

HRA

90-93

Прочность на изгиб

МПа

500-700

Пористость

%

12-15

Коэффициент теплового расширения

1×10-6/C0

3.5

Рабочая температура

C0

1600

Теплопроводность

Вт/m·K

25