Алюмооксидные керамические подложки (поликор, корундовые)
- Категория качества: ОТК
- ТУ: ТУ 6366-000-07593894-2013
Подложки изготовленные из корундового материала ВК 100-1 (Al2O3 - 99,7%), предназначенные для тонкоплночных интегральных схем.
В зависимости от обработки поверхности подложки делятся на виды:
- подложки с односторонней полировкой - ПК1;
- подложки с двухсторонней полировкой - ПК2.
Условное обозначение изделия при заказе и в конструкторской документации должно состоять из наименования изделия, вида обработки поверхности подложки, чертежа и технических условий:
Подложка ПК1 Ще7.817.000-25 по ТУ 6366-000-07593894-2013.
Примечание: Технические условия 6366-000-07593894-2013 введены 01.04.2014 г. взамен Ще0.781.000 ТУ.
|
Наименование характеристик |
ВК 100-1 |
|
Содержание Al2O3 |
99,7 |
|
Водопоглощение, % не более |
0,02 |
|
Кажущаяся плотность, кг/м3 |
3960±20 |
|
Предел прочности на изгиб, кгс/см2 (МПа) |
3200 (313,8) |
|
Температурный коэффициент линейного расширения в интервале температур 20..900°С, К-1 |
(8±0,5)*10-6 |
|
Диэлектрическая проницаемость в диапазоне частот 8-10 ГГц и при температуре 20±5°С |
9,7±0,25 |
|
Тангенс угла диэлектрических потерь, 10 ГГц 20°С |
1*10-4 |
|
Удельное объёмное электрическое сопротивление при 150±5°С, Ом*см |
2*1014 |
|
Теплопроводность λ, Вт/(м*К) |
30 |
|
Шероховатость полированной поверхности, Rz, мкм |
0,100 |
|
Шероховатость второй полированной поверхности, Rа, мкм |
0,040 |
|
Шероховатость рабочей шлифованной поверхности, Rz, мкм |
- |
|
Шероховатость нерабочей шлифованной поверхности, Rz, мкм |
1,6 |
