Керамические подложки из материала ВК 94-1 (22ХС), алюмооксидные (Al2O3)
- Категория качества: ОТК
- ТУ: Б40.737.000
Подложки керамические изготовленные из вакуумплотного корундового материала ВК 94-1 (содержание оксида алюминия Al2O3 - 94%). Подложки имеют цвет от темно-коричневого до светло-сиреневого.
Предназначаются для изготовления интегральных схем по толстоплёночной технологии.
|
Наименование характеристик |
ВК 94-1 |
|
Содержание Al2O3 |
94,4 |
|
Водопоглощение, % не более |
0,02 |
|
Кажущаяся плотность, кг/м3 |
3650 |
|
Предел прочности на изгиб, кгс/см2 (МПа) |
3200 (313,8) |
|
Температурный коэффициент линейного расширения в интервале температур 20..900°С, К-1 |
6,5*10-6 |
|
Диэлектрическая проницаемость в диапазоне частот 8-10 ГГц и при температуре 20±5°С |
9,3±0,2 |
|
Тангенс угла диэлектрических потерь, 10 ГГц 20°С |
6*10-4 |
|
Удельное объёмное электрическое сопротивление при 150±5°С, Ом*см |
2*1013 |
|
Теплопроводность λ, Вт/(м*К) |
8,5 |
|
Шероховатость полированной поверхности, Rz, мкм |
0,063 |
|
Шероховатость второй полированной поверхности, Rа, мкм |
– |
|
Шероховатость рабочей шлифованной поверхности, Rz, мкм |
0,63 |
|
Шероховатость нерабочей шлифованной поверхности, Rz, мкм |
1,0 |
